(2 + 1) resonant multiphoton ionization of sputtered P atoms : application to the detection of phosphorus in silicon samples
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Auteurs : RBID : Pascal:91-0024015Descripteurs français
- Pascal (Inist)
- Wicri :
- concept : Phosphore.
English descriptors
- KwdEn :
Abstract
Etude de cette ionisation dans le domaine 298-306 Å pour des atomes P, pulvérisés par des ions Ar+ à partir d'un échantillon de InP, et pour des énergies d'excitation de 10-200 MW cm-2. Estimation des sections efficaces par la théorie du défaut quantique. Déduction de la fréquence de Rabi à deux photons. Possibilité d'application à l'analyse de traces (ex. 0,5 ppm de P dans Si)
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<record><TEI><teiHeader><fileDesc><titleStmt><title xml:lang="en" level="a">(2 + 1) resonant multiphoton ionization of sputtered P atoms : application to the detection of phosphorus in silicon samples</title><author><name sortKey="Gobert, O" uniqKey="Gobert O">O. Gobert</name><affiliation wicri:level="3"><inist:fA14 i1="01"><s1>Univ. Orléans, groupe rech. energétique milieux ionisés</s1><s2>Orléans 45067</s2><s3>FRA</s3><sZ>A11011000</sZ></inist:fA14><country>France</country><placeName><region type="region" nuts="2">Région Centre</region></placeName></affiliation></author><author><name sortKey="Dubreuil, B" uniqKey="Dubreuil B">B. Dubreuil</name></author><author><name sortKey="Inglebert, R L" uniqKey="Inglebert R">R. L. Inglebert</name></author><author><name sortKey="Gelin, P" uniqKey="Gelin P">P. Gelin</name></author><author><name sortKey="Debrun, J L" uniqKey="Debrun J">J. L. 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Estimation des sections efficaces par la théorie du défaut quantique. Déduction de la fréquence de Rabi à deux photons. Possibilité d'application à l'analyse de traces (ex. 0,5 ppm de P dans Si)</div></front></TEI><inist><standard h6="B"><pA><fA01 i1="01" i2="1"><s0>0556-2791</s0></fA01><fA02 i1="01"><s0>PLRAAN</s0></fA02><fA03 i2="1"><s0>Phys. Rev. A</s0></fA03><fA05><s2>41</s2></fA05><fA06><s2>11</s2></fA06><fA08 i1="01" i2="1" l="ENG"><s1>(2 + 1) resonant multiphoton ionization of sputtered P atoms : application to the detection of phosphorus in silicon samples</s1></fA08><fA11 i1="01" i2="1"><s1>GOBERT (O. )</s1></fA11><fA11 i1="02" i2="1"><s1>DUBREUIL (B. )</s1></fA11><fA11 i1="03" i2="1"><s1>INGLEBERT (R. L. )</s1></fA11><fA11 i1="04" i2="1"><s1>GELIN (P. )</s1></fA11><fA11 i1="05" i2="1"><s1>DEBRUN (J. L. )</s1></fA11><fA14 i1="01"><s1>Univ. 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